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日本電子ROHSX射線熒光分析儀金屬成分分析(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了高的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的高能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。

JSX-1000S 能量色散型X射線熒光分析儀采用觸控屏操作、提供更加簡便迅速的元素分析。具備常規(guī)定性、定量分析（FP法?檢量線法）、RoHS元素篩選功能等?！?利用豐富的硬件/軟件選配件、還能進(jìn)行更廣泛的分析。